2.浙江金瑞泓全面建成8英寸硅片規(guī)?；a(chǎn)線；
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企業(yè)負(fù)責(zé)人展示生產(chǎn)的半導(dǎo)體硅片
浙江在線寧波5月16日訊(浙江在線記者 趙磊 通訊員 王虎羽)隨著電子產(chǎn)品的快速發(fā)展，作為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的上游，硅片的研發(fā)生產(chǎn)成為支撐整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈最重要、應(yīng)用最廣泛的基礎(chǔ)功能關(guān)鍵環(huán)節(jié)。目前，國(guó)內(nèi)8英寸硅片需求約為每月70萬(wàn)片，約90%需依靠進(jìn)口。而近10萬(wàn)片的國(guó)產(chǎn)硅片份額中，64%出自寧波的浙江金瑞泓科技股份有限公司的生產(chǎn)車(chē)間。
近日，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國(guó)家科技重大專項(xiàng)(02專項(xiàng))實(shí)施管理辦公室在寧波組織召開(kāi)02專項(xiàng)正式驗(yàn)收會(huì)。金瑞泓科技公司承擔(dān)的“8英寸硅片研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化及12英寸硅片關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目順利通過(guò)驗(yàn)收。相關(guān)專家表示，該項(xiàng)目的順利驗(yàn)收，標(biāo)志著我國(guó)8英寸半導(dǎo)體硅片的大批量生產(chǎn)得以實(shí)現(xiàn)，藉此有望打破國(guó)外對(duì)8英寸半導(dǎo)體硅片高度壟斷的局面，極大地縮小我國(guó)與國(guó)際半導(dǎo)體硅片行業(yè)生產(chǎn)水平間的差距。
據(jù)了解，重大專項(xiàng)是為了實(shí)現(xiàn)國(guó)家目標(biāo)，通過(guò)核心技術(shù)突破和資源集成，在一定時(shí)限內(nèi)完成的重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)和重大工程。《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020)》確定了大型飛機(jī)等16個(gè)重大專項(xiàng)。這些重大專項(xiàng)是我國(guó)到2020年科技發(fā)展的重中之重?！皹O大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)”屬于專項(xiàng)中的第二項(xiàng)，所以簡(jiǎn)稱為“02專項(xiàng)”。
全面建成8英寸硅片規(guī)?；a(chǎn)線
半導(dǎo)體行業(yè)龍頭順利通過(guò)專項(xiàng)驗(yàn)收
此次項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)的專家組由國(guó)家科技重大專項(xiàng)咨詢委專家、行業(yè)資深技術(shù)專家、知識(shí)產(chǎn)權(quán)專家、財(cái)務(wù)專家組成等17位專家組成。專家組在聽(tīng)取公司報(bào)告、現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試報(bào)告和現(xiàn)場(chǎng)考察等之后，一致認(rèn)為金瑞泓科技已經(jīng)建成8英寸硅片的全系列先進(jìn)生產(chǎn)線，形成月產(chǎn)8英寸硅拋光片12萬(wàn)片，硅外延片5萬(wàn)片能力。目前該項(xiàng)目共申請(qǐng)了國(guó)家專利52件，其中35件發(fā)明專利獲得授權(quán)。
企業(yè)所生產(chǎn)的8英寸硅片產(chǎn)品目前通過(guò)了包括華潤(rùn)上華、華虹宏力、中芯國(guó)際及中航微電子等排行國(guó)內(nèi)前十名的主流集成電路制造企業(yè)的采購(gòu)認(rèn)證與使用，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。目前金瑞泓的8寸硅片已占到國(guó)產(chǎn)市場(chǎng)份額的64%，占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)(含進(jìn)口硅片)的6.3%。
承擔(dān)國(guó)家科技重大專項(xiàng)(02專項(xiàng))的金瑞泓科技目前是國(guó)內(nèi)唯一具有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片完整產(chǎn)業(yè)鏈的半導(dǎo)體企業(yè)，是我國(guó)半導(dǎo)體硅材料行業(yè)的龍頭企業(yè)，在由中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)在2015年開(kāi)始舉辦的中國(guó)半導(dǎo)體材料十強(qiáng)企業(yè)評(píng)選中，連續(xù)榮獲2015、2016年度第一名。此次專家組一致同意金瑞泓科技承擔(dān)的02專項(xiàng)項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收，企業(yè)負(fù)責(zé)人表示是業(yè)內(nèi)專家對(duì)公司長(zhǎng)期以來(lái)專注于半導(dǎo)體硅片業(yè)務(wù)并取得重要技術(shù)成就的充分肯定。
打破國(guó)外壟斷
我國(guó)大直徑硅片產(chǎn)業(yè)化步伐有望加快
“作為集成電路制造業(yè)最大宗的關(guān)鍵材料，大尺寸硅片一直依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力和供應(yīng)鏈安全。大尺寸半導(dǎo)體硅片的產(chǎn)業(yè)化，是02專項(xiàng)核心任務(wù)之一?！?02專項(xiàng)技術(shù)總師、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所所長(zhǎng)葉甜春如是說(shuō)。
在驗(yàn)收總結(jié)時(shí)，葉甜春對(duì)金瑞泓科技在02專項(xiàng)實(shí)施期間取得的重要技術(shù)成就給予了充分肯定，希望企業(yè)進(jìn)一步加大8英寸硅片的市場(chǎng)開(kāi)發(fā)力度，推廣相關(guān)成果應(yīng)用，以更加開(kāi)放包容的姿態(tài)把企業(yè)做大做強(qiáng)。
金瑞泓科技副總經(jīng)理吳能云表示，02專項(xiàng)的實(shí)施及通過(guò)驗(yàn)收，使企業(yè)在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體硅片領(lǐng)域的領(lǐng)先地位進(jìn)一步得到鞏固，大幅度加大我國(guó)大直徑硅片的國(guó)產(chǎn)化步伐，打破了國(guó)外對(duì)8英寸半導(dǎo)體硅片高度壟斷的局面。同時(shí)，專項(xiàng)成果的應(yīng)用降低了國(guó)內(nèi)下游企業(yè)的生產(chǎn)成本，帶動(dòng)了多晶硅等上游相關(guān)行業(yè)的發(fā)展，從而有力支撐了我國(guó)集成電路行業(yè)的開(kāi)展。
“提升我國(guó)半導(dǎo)體硅片的整體水平是振興民族半導(dǎo)體工業(yè)、發(fā)展現(xiàn)代化信息業(yè)的重要環(huán)節(jié)，02專項(xiàng)的實(shí)施及通過(guò)驗(yàn)收，使公司更有信心與能力建設(shè)以市場(chǎng)為導(dǎo)向、以創(chuàng)新為動(dòng)力、產(chǎn)、學(xué)、研、用一體化的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，為加快推進(jìn)我國(guó)集成電路的自主創(chuàng)新和可持續(xù)發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。”吳能云說(shuō)。
上億元專項(xiàng)資金扶持
鑄就8英寸硅片“單項(xiàng)冠軍”
金瑞泓的硅片生產(chǎn)線包括拉晶、切割、研磨、拋光、外延等多道工藝，最終的成品硅片需要經(jīng)過(guò)幾十道工序。精密的材料對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求也非常高，硅片的生產(chǎn)制造過(guò)程需要在潔凈室內(nèi)完成。企業(yè)的潔凈室內(nèi)要求每立方英尺空氣中大于等于0.1微米粒徑的灰塵數(shù)量不超過(guò)10顆，比醫(yī)院無(wú)菌室標(biāo)準(zhǔn)還高出許多。
為應(yīng)對(duì)激烈的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)格局，金瑞泓科技多年來(lái)聯(lián)合浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，以及中電13所、55所等高校院所，攜力克服困難，致力于高端大尺寸半導(dǎo)體硅片國(guó)產(chǎn)化工作。憑借多方的優(yōu)勢(shì)整合，終于實(shí)現(xiàn)了8英寸半導(dǎo)體硅片的大批量生產(chǎn)。
據(jù)了解，金瑞泓科技承擔(dān)的02專項(xiàng)在研討、論證、立項(xiàng)過(guò)程中，寧波市積極對(duì)接國(guó)家有關(guān)部委，推動(dòng)項(xiàng)目落地。2010年10月項(xiàng)目立項(xiàng)以來(lái)，寧波市和保稅區(qū)兩級(jí)地方政府配套經(jīng)費(fèi)7423萬(wàn)元按期足額到位，有效推動(dòng)了項(xiàng)目取得階段性研究成果和順利實(shí)施，加上國(guó)家等額的專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)扶持，企業(yè)獲得的專項(xiàng)扶持資金近1.5億元。寧波市科技局采取多種形式，對(duì)項(xiàng)目的研究進(jìn)展情況和經(jīng)費(fèi)使用情況進(jìn)行督導(dǎo)檢查，并先后在2015年10月、2016年4月、2016年8月指導(dǎo)和幫助金瑞泓科技通過(guò)了02專項(xiàng)辦組織的現(xiàn)場(chǎng)檢查、現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試和內(nèi)部驗(yàn)收等工作，為項(xiàng)目順利通過(guò)正式驗(yàn)收奠定了基礎(chǔ)。
寧波市相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，將進(jìn)一步加大集成電路產(chǎn)業(yè)扶持力度，并成立了首期規(guī)模100億元，按市場(chǎng)化機(jī)制運(yùn)行的寧波市集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金，在積極引進(jìn)骨干企業(yè)、加速企業(yè)培育、強(qiáng)化協(xié)同創(chuàng)新、提升專業(yè)化服務(wù)、優(yōu)化發(fā)展環(huán)境等幾方面大力培育發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)，打造國(guó)家級(jí)集成電路特色工藝產(chǎn)業(yè)基地和專用材料產(chǎn)業(yè)基地，規(guī)劃建成長(zhǎng)三角南翼的集成電路產(chǎn)業(yè)強(qiáng)市?！皩幉ㄊ形磥?lái)將會(huì)涌現(xiàn)出更多像金瑞泓科技一樣具有較強(qiáng)行業(yè)影響力的集成電路企業(yè)?！痹撠?fù)責(zé)人說(shuō)。